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上海積塔半導體10萬風量沸石轉輪架＋0.6萬TO
一、業(yè)主介紹
上海積塔半導體有限公司是一家集成電路芯片和產品制造的高科技公司。旗下主要產品包括功率器件、電源管理、傳感器芯片，廣泛應用于工控、汽車、電力、能源等領域。
二、工藝流程
10萬風量沸石轉輪+0.6萬風量直接焚燒爐（TO）
三、沸石轉輪+直接焚燒爐設備的主要組成：
沸石轉輪裝置，引風機，直接焚燒爐裝置，換熱器，煙囪 5個部分組成
四、沸石轉輪的工作原理:
濃縮轉輪區(qū)分為處理區(qū)、再生區(qū)和冷卻區(qū)，濃縮轉輪在各個區(qū)內連續(xù)運轉。
含有VOC的被處理空氣通過前置過濾后，送到濃縮轉輪的處理區(qū)。在處理區(qū)VOC被吸附劑吸附除去，空氣被凈化后從濃縮轉輪的處理區(qū)間排出。
吸附于濃縮轉輪中的VOC，在再生區(qū)經熱風處理而被脫附、濃縮（5~20倍的程度）。
而且濃縮轉輪在冷卻區(qū)被冷卻，經過冷卻區(qū)的空氣，再經過加熱后作為再生空氣使用，達到節(jié)能的效果。
五、直接焚燒爐（TO）的工作原理：
工作原理：焚燒爐依據(jù)風量，有機氣體濃度和期望的處理效率進行設計。來自工藝的VOCs和有毒氣體吸入系統(tǒng)風機后推進殼管式換熱器的管側（通常用此設計）。里面的氣流通過燃燒機升溫到熱氧化反應溫度（650-1,000℃/1,200-1,800℉），在0.5-2.0s內進行放熱反應。廢氣在反應室內轉化為二氧化碳和水汽并受到加熱。高溫的經過凈化的氣體通常通過殼管式換熱器的殼側預加熱導入氣體。換熱器在系統(tǒng)維持在合適的低爆炸極限工作狀態(tài)時最小化系統(tǒng)燃料的消耗量。最后處理后的氣體排放到空氣中去。工藝廢氣中有硅樹脂的應用中可以在廢氣通過燃燒機后經換熱器的管側排除以方便維護和二氧化硅清理
六、項目照片
